特許

J-GLOBAL ID：200903020923321604

単結晶引上げ方法

発明者： 近藤 総一郎 ,  倉持 薫 ,  谷口 勝
出願人/特許権者： 住友シチックス株式会社
代理人 (1件)： 生形 元重 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-079195
公開番号（公開出願番号）：特開平6-263584
出願日： 1993年03月11日
公開日（公表日）： 1994年09月20日
要約：

【要約】【目的】 高品質の単結晶を安定に製造する。単結晶の生産性を高める。【構成】 単結晶の引上げ中に、下式で示される変形率を0.3〜1.5%に維持する。変形率=(最大直径-最小直径)/平均直径×100

請求項（抜粋）：

るつぼ内の原料融液をるつぼに対して回転させながら柱状に引上げて凝固させる単結晶の引上げにおいて、下式で示される引上げ中の単結晶の変形率が0.3〜1.5%となるように引上げを行うことを特徴とする単結晶引上げ方法。変形率=(最大直径-最小直径)/平均直径×100

IPC (3件)：

C30B 15/22 ,  C30B 29/06 502 ,  H01L 21/208