特許

J-GLOBAL ID：200903020931239330

電子ビーム照射装置および電気信号検出装置

発明者： 小 松 文 朗 ,  奥 村 勝 弥 ,  三 好 元 介
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-316861
公開番号（公開出願番号）：特開平5-151921
出願日： 1991年11月29日
公開日（公表日）： 1993年06月18日
要約：

【要約】【目的】 チャージアップを防ぐことができ、良好なS/Nの画像を得ることのできる電子ビーム照射装置および方法を提供するとともに、クロック信号の周期以内の十分な時間に渡って電気信号を積分処理することのできる電気信号検出装置を提供する。【構成】 電子ビーム照射装置は、電子ビームによって走査される走査平面における電子ビームの照射位置を指定する位置情報信号を、互いにランダムに照射位置を指定するように順々に出力する位置情報出力手段と、この出力された位置情報信号に対応する照射位置に電子ビームを照射する照射制御手段とを備えることを特徴とする。また、電気信号検出装置は複数のサンプルホールド回路と、それらを順々の動作させる選択回路を備えることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

電子ビームによって走査される走査平面における電子ビームの照射位置を指定する位置情報信号を、互いにランダムに照射位置を指定するように順々に出力する位置情報出力手段と、この出力された位置情報信号に対応する照射位置に電子ビームを照射する照射制御手段とを備えることを特徴とする電子ビーム照射装置。

IPC (3件)：

H01J 37/147 ,  G21K 5/04 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-128422
  
• 特開平2-274015
  
• 特開平2-139844