特許

J-GLOBAL ID：200903020932115332

可搬式密閉容器の内部雰囲気調整装置

発明者： 山下 哲平 ,  村田 正直 ,  河野 等 ,  田中 幹 ,  森田 日也 ,  及部 博之
出願人/特許権者： 神鋼電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-162477
公開番号（公開出願番号）：特開平7-066273
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：

【要約】【目的】 窒素ボンベ等の不活性ガス源に接続することなく、密閉容器の内部雰囲気を不活性ガス雰囲気に調整することができ、再パージのために要していた費用や手間を大幅に低減することができる可搬式密閉容器の内部雰囲気調整装置を提供することを目的とする。【構成】 内部空所を有し可搬式密閉容器8を気密に載置を可能な台部61と前記内部空所に連通するポート62を形成された容器60、前記ポート62を上記内部空所に対して気密に遮断可能な部材65、上記可搬式密閉容器の蓋20を開閉する開閉機構と、上記内部空所に交換可能に収納された内部雰囲気成分調整剤ユニット70とを備え、上記可搬式密閉容器8は、容器本体と、この容器本体の開口部を気密に閉鎖可能な蓋とを備え内部雰囲気が不活性ガス雰囲気である密閉容器であって、当該蓋の開時、容器本体内部が上記ポートを通して上記内部空所と連通することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

内部空所を有し可搬式密閉容器を気密に載置を可能な台部と前記内部空所に連通するポートを形成された容器と、前記ポートを上記内部空所に対して気密に遮断可能な部材、上記可搬式密閉容器の蓋を開閉する開閉機構と、上記内部空所に交換可能に収納された内部雰囲気成分調整剤ユニットとを備え、上記可搬式密閉容器は、容器本体と、この容器本体の開口部を気密に閉鎖可能な蓋とを備え内部雰囲気が不活性ガス雰囲気である密閉容器であって、当該蓋の開時、容器本体内部が上記ポートを通して上記内部空所と連通することを特徴とする可搬式密閉容器の内部雰囲気調整装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/027