特許
J-GLOBAL ID：200903020948518348

圧電振動子及びその製造方法

発明者：
黒田 貴大

黒田 貴大 について


出願人/特許権者：
エプソントヨコム株式会社

エプソントヨコム株式会社 について


代理人 (4件)： 上柳 雅誉 ,  梅田 明彦 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-134509
公開番号（公開出願番号）：特開2007-306434
出願日： 2006年05月12日
公開日（公表日）： 2007年11月22日
要約：
【課題】圧電振動片及び外枠を一体にした圧電基板の両面に上下圧電基板を接合した圧電振動子において、高い気密性及び接合強度を確保しかつ高い周波数精度を実現する。【解決手段】水晶振動子1は、ATカット水晶振動片5と外枠6とを一体に結合した中間水晶板2と上側及び下側水晶基板3,4とを備える。中間水晶板の外枠下面には導電膜10,13が形成され、下側水晶基板の上面には金属薄膜16,18が形成され、互いにプラズマ処理により清浄化・活性化した後、拡散接合により気密に接合される。中間水晶板と下側水晶基板との接合後、中間水晶板と上側水晶基板との接合前に、水晶振動片を周波数調整することができる。中間水晶板外枠の上面及び上側水晶基板の下面は水晶素面からなり、プラズマ処理を用いた表面活性化接合により気密に接合される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
圧電振動片と、その上面が鏡面研磨加工した圧電材料の素面からなりかつ下面が鏡面研磨加工した前記圧電材料の表面に形成した導電膜を有する外枠とを一体に結合した中間圧電基板と、 前記中間圧電基板と同一の圧電材料からなり、かつ前記外枠上面との接合面が鏡面研磨加工した前記圧電材料の素面からなる上側圧電基板と、 前記中間圧電基板と同一の圧電材料からなり、かつ前記外枠下面との接合面が鏡面研磨加工した前記圧電材料の表面に形成した金属薄膜を有する下側圧電基板とを備え、 前記外枠上面及び前記上側圧電基板の接合面が、それぞれ表面活性化した後に、互いに前記圧電材料同士の表面活性化接合により気密に接合され、 前記外枠下面及び前記下側圧電基板の接合面が、それぞれ表面活性化した後に、互いに前記導電膜と前記金属薄膜との拡散接合により気密に接合され、 それにより前記中間圧電基板と前記上側及び下側圧電基板との間に画定されかつ封止されるキャビティ内に前記圧電振動片が浮いた状態で保持されていることを特徴とする圧電振動子。
IPC (6件)：
H03H 9/02 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/19 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22
FI (6件)：
H03H9/02 A ,  H03H3/02 C ,  H03H9/19 D ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z
Fターム (16件)：
5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108CC06 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE08 ,  5J108EE13 ,  5J108GG03 ,  5J108GG07 ,  5J108GG13 ,  5J108KK01 ,  5J108KK03 ,  5J108KK07 ,  5J108MM04 ,  5J108MM11
引用特許：
出願人引用 (6件)
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