真空蒸着装置及び真空蒸着方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：光石俊郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-075586
公開番号（公開出願番号）：特開平7-278798
出願日： 1994年04月14日
公開日（公表日）： 1995年10月24日
要約：

【要約】【目的】蒸気チャンネルを不要とし、均一に蒸着することのできる真空蒸着装置及び真空蒸着方法を提供することを目的とする。【構成】るつぼ5の内外に所定の圧力差を設定すると共に、所定の寸法を満たすラバールノズルタイプの蒸気噴出孔4をるつぼ5に設けて、蒸気13を蒸気境界12を有する超音速噴流として発生させるものである、

請求項（抜粋）：

真空蒸着室内に導かれた被蒸着物に、るつぼから発生した蒸気を蒸着させる真空蒸着装置において、前記るつぼは下記(1)及び(2)式を満たす形状の蒸気噴出孔が設けられていることを特徴とする真空蒸着装置。【数1】但し、A :ノズル出口部断面積A* :ノズルスロート部断面積A0 :るつぼの断面積M :蒸気のマッハ数γ :蒸気の比熱比

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