特許
J-GLOBAL ID：200903020957247160
超音波においセンサ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-351418
公開番号（公開出願番号）：特開平9-178714
出願日： 1995年12月27日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：
【要約】【目的】 ラム波遅延線の伝搬経路に感応膜を設けることにより、かび臭物質を検出する超音波においセンサを提供する。【構成】 すだれ状電極TU1に電気信号を入力することにより、基板1中のすだれ状電極TU1とRU1との間にラム波を伝搬させることができる。基板1の一方の板面上のすだれ状電極TU1とRU1との間のアルミニウム薄膜2上に設けられた感応膜4にかび臭物質が吸着すると、すだれ状電極RU1に出力される電気信号に位相差が生じることから、かび臭物質の濃度を位相差で表わすことができる。【効果】 感度がよく、時間応答性に優れ、構造が簡単で、小型軽量で、低電圧で低消費電力駆動である。
請求項（抜粋）：
圧電セラミックで成る基板と、前記基板の一方の板面上に設けられた2つの超音波送受波手段U1およびU2と、におい物質を選択的に吸着する感応膜を備えて成る超音波においセンサであって、前記超音波送受波手段U1は、試料用の手段であって、すだれ状電極TU1およびRU1で成り、前記超音波送受波手段U2は、対照用の手段であって、すだれ状電極TU2およびRU2で成り、前記基板の前記一方の板面上における前記すだれ状電極TU1とRU1との間の領域F1および前記すだれ状電極TU2とRU2との間の領域F2にそれぞれ金属薄膜が設けられるか、または前記基板のもう一方の板面上における前記領域F1に対応する領域F3および前記領域F2に対応する領域F4にそれぞれ金属薄膜が設けられており、前記感応膜は、少なくとも前記領域F1上に設けられた金属薄膜の上に塗布されるか、または少なくとも前記領域F3上に設けられた金属薄膜の上に塗布されており、前記すだれ状電極TU1は前記すだれ状電極TU1の電極周期長とほぼ対応する周波数の電気信号を入力されることにより、前記基板中に前記電極周期長とほぼ等しい波長を有するラム波を励振させ、前記すだれ状電極RU1は前記ラム波を電気信号に変換して出力し、前記すだれ状電極TU2は前記すだれ状電極TU2の電極周期長とほぼ対応する周波数の電気信号を入力されることにより、前記基板中に前記電極周期長とほぼ等しい波長を有するラム波を励振させ、前記すだれ状電極RU2は前記ラム波を電気信号に変換して出力し、におい物質の濃度を前記すだれ状電極RU1に出力される前記電気信号と、前記すだれ状電極RU2に出力される前記電気信号との位相差で表わすことを特徴とする超音波においセンサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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