膜厚測定方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：日比谷征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-309797
公開番号（公開出願番号）：特開平11-132726
出願日： 1997年10月24日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】膜厚算出時間を短縮し高精度な膜厚測定を可能とする。【解決手段】膜層を設けた基板Wからの反射光束を、波長別に分離してCCD受光素子16a〜16c、17a〜17cにそれぞれ受光する。受光された各波長λi(i=1〜6)の光束は、膜層の膜厚に応じて波長別に固有の干渉分光反射強度を有し、その干渉分光反射強度は膜厚測定工程の画像処理ボード21を介して、ホストコンピュータ20の外部記憶部内の膜厚測定画像メモリ部22に二次元形式で記憶される。この二次元画像情報から、位置検出工程で得られた膜厚測定に好適な位置又は領域の座標に基づいて、対応する画素の受光信号から膜厚測定演算部24において膜厚値を算出する。

請求項（抜粋）：

膜層を形成した基板面上の所定領域に光源から出射する光束を照射し、該所定領域の膜層による干渉光束を複数の波長別に分離して受光し、該複数の波長別受光信号である分光反射強度により前記基板面上の膜層の膜厚値を測定する膜厚測定方法において、前記複数の波長別受光信号の内の少なくとも3つの波長別受光信号からそれぞれ波長別に算出した膜厚値の複数解を使用し、該複数解の中から値が最も近い膜厚値の解の組み合わせを選択し、該選択した膜厚値の解の組み合わせから前記基板面上の膜層の概略膜厚値を求める第1の工程と、全ての波長別受光信号からそれぞれ波長別に算出した膜厚値の複数解を使用し、該複数解の中から値が最も近い膜厚値の解の組み合わせを選択する際に、前記第1の工程で得た概略膜厚値を基準に選択範囲を限定して詳細膜厚値を求める第2の工程とから成ることを特徴とする膜厚測定方法。

前のページに戻る