特許
J-GLOBAL ID：200903020966077030
薄型基板搬送装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯田 昭夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-115683
公開番号（公開出願番号）：特開平11-300663
出願日： 1998年04月24日
公開日（公表日）： 1999年11月02日
要約：
【要約】【課題】 ロボットのハンドの搬送ストロークを長くするとともに旋回半径を小さくすることによって、コンパクト化を図ることのできる薄型基板搬送装置を提供すること。【解決手段】 搬送装置Mは、基板Wを収納するカセット1・2と、基板Wを搬送するロボット3と、基板Wを加工処理する少なくとも1台の処理装置4とを有し、ロボット3は機台12上に垂直方向に旋回する垂直旋回アーム体11と移動機台15上で水平旋回する2組のアーム組30を有する水平旋回アーム体14から構成されている。垂直旋回アーム体11は、ハンド33をカセット1・2あるいは処理装置4付近に略平行に移動させ、水平旋回アーム体15は、ハンド33をカセット1・2または処理装置4内に出入させる。
請求項（抜粋）：
少なくとも薄型基板を収納するカセットと、前記薄型基板を加工処理する少なくとも1台の加工処理装置と、前記薄型基板を支持して前記加工処理装置に搬送可能な多関節ロボットと、を有する薄型基板搬送装置であって、前記多関節ロボットが、前記薄型基板を前記カセットまたは加工処理装置付近に搬送するように駆動される一次旋回手段と、前記薄型基板を前記カセットまたは加工処理装置内に搬送するように駆動される二次旋回手段と、を有し、前記一次旋回手段が、機台に回動可能に軸支され、前記二次旋回手段が、前記一次旋回手段に支持される移動機台に軸支されるとともに、前記薄型基板を支持するハンドを備えて水平方向に旋回されることを特徴とする薄型基板搬送装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B25J 9/00 E
, H01L 21/68 A
