特許

J-GLOBAL ID：200903020966751084

軟磁性合金薄膜及びその製造方法

発明者： 小倉 隆 ,  久米 実
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社
代理人 (1件)： 目次 誠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-093492
公開番号（公開出願番号）：特開平7-302711
出願日： 1994年05月02日
公開日（公表日）： 1995年11月14日
要約：

【要約】【目的】 高温熱処理を施さなくとも、優れた軟磁気特性を示す高い飽和磁束密度を有する軟磁性合金薄膜を得る。【構成】 FeX NY OZ の組成式で示される軟磁性合金薄膜であって、好ましくは、FeO3 で表される酸化鉄と、Fe4 N及びFe3 Nで表される窒化鉄と、α-Feの4つの相を有し、組成式のX、Y、及びZが、0.005≦Y≦0.120.005≦Z≦0.12X+Y+Z=1の関係を有することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

FeX NY OZ (X+Y+Z=1)の組成式で表されることを特徴とする軟磁性合金薄膜。

IPC (5件)：

H01F 10/14 ,  C22C 38/00 303 ,  C23C 14/06 ,  G11B 5/127 ,  G11B 5/31

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-162505
  
• 特開平2-298238
  
• 特開平3-232206