特許

J-GLOBAL ID：200903020980055074

コイル状材料のイオンプレーティング方法

発明者： 及川 雄介 ,  小森 唯志 ,  長島 祥司
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 井上 雅生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-112418
公開番号（公開出願番号）：特開平6-306586
出願日： 1993年04月16日
公開日（公表日）： 1994年11月01日
要約：

【要約】【目的】 コイル長手方向の膜厚、色調の不均一を解消したコイル状材料を製造する。【構成】 イオンプレーティング法を用いコイル状基板に連続的に薄膜をコーティングするコイル状材料の製造方法において、蒸着原料の蒸発量をモニターするとともに、蒸着原料を溶融・蒸発させるための電子ビーム出力を制御して蒸着原料の蒸発量を一定に保つ。【効果】 イオンプレーティング法を用いコイル状薄膜コーティング材料を製造する際に、長手方向の膜厚、色調の均一な材料を製造することが可能になる。

請求項（抜粋）：

イオンプレーティング法によりコイル状の基板へ連続的に薄膜を形成処理する方法において、蒸着原料の蒸発量をモニターするとともに、蒸着原料を溶融・蒸発させるための電子ビーム出力を制御して蒸着原料の蒸発量を一定に保つことを特徴とするコイル状材料のイオンプレーティング方法。