特許

J-GLOBAL ID：200903020989453552

ダイヤモンド膜被覆金属チタンの製造方法

発明者： 津森 俊宏
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-350249
公開番号（公開出願番号）：特開平5-163570
出願日： 1991年12月09日
公開日（公表日）： 1993年06月29日
要約：

【要約】 (修正有)【構成】金属チタンの表面にAl2O3,SiO2又はWよりなる中間蒸着膜を0.10〜3.00μmの厚さに真空蒸着法により形成した後、その表面にマイクロ波プラズマ気相沈積法によりダイヤモンド膜を形成することを特徴とするダイヤモンド膜被覆金属チタンの製造方法。【効果】本発明によれば従来不可能とされていた金属チタン上へのダイヤモンド膜の形成が可能となり、物理、化学的に優れた強度を有する複合材料を容易に作製できる。

請求項（抜粋）：

金属チタンの表面にAl2O3,SiO2又はWよりなる中間蒸着膜を0.10〜3.00μmの厚さに真空蒸着法により形成した後、その表面にマイクロ波プラズマ気相沈積法によりダイヤモンド膜を形成することを特徴とするダイヤモンド膜被覆金属チタンの製造方法。

IPC (4件)：

C23C 16/26 ,  C23C 14/06 ,  C23C 16/02 ,  C30B 29/04