特許
J-GLOBAL ID：200903020991235279
研磨装置及び研磨量測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-194468
公開番号（公開出願番号）：特開平7-040234
出願日： 1993年08月05日
公開日（公表日）： 1995年02月10日
要約：
【要約】【目的】本発明は、研磨加工中の被加工物の研磨量を正確に測定することができる研磨量測定方法及び研磨装置を提供することを目的とする。【構成】予め厚さが測定されている被加工物と、前記被加工物を研磨する研磨定盤と、前記研磨定盤を回転駆動する研磨定盤用モータと、前記研磨定盤の研磨作用面に前記被加工物と一定間隔を隔てて固定され、研磨加工中における前記被加工物の変位量を測定する非接触センサと、前記非接触変位センサの測定信号から研磨加工中の共振振動数を算出し、該算出された共振振動数から前記被加工物の厚さを算出する制御部とを有する研磨装置とした。【効果】研磨加工中に他の因子に影響を受けない共振振動数より被加工物の厚さを測定しているので、正確に被加工物の研磨量を測定することができる。
請求項（抜粋）：
予め厚さが測定されている被加工物と、前記被加工物を研磨する研磨定盤と、前記研磨定盤を回転駆動する研磨定盤用モータと、前記研磨定盤の研磨作用面に前記被加工物と一定間隔を隔てて固定され、研磨加工中における前記被加工物の変位量を測定する非接触センサと、前記非接触変位センサの測定信号から研磨加工中の共振振動数を算出し、該算出された共振振動数から前記被加工物の厚さを算出する制御部とを有することを特徴とする研磨装置。
IPC (4件)：
B24B 37/04
, B24B 49/04
, G01B 17/02
, H01L 21/304 321
