特許
J-GLOBAL ID：200903020992573020
曲面研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平田 忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-258431
公開番号（公開出願番号）：特開平9-103951
出願日： 1995年10月05日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、回転対称軸がなく位置によって曲率が任意に変化する曲面でも均等高精度に研磨すること。【解決手段】 本発明の曲面研磨装置は、表面に研磨ポリッシャーを有し、内部に流体が供給される袋状部材17と、袋状部材17への流体の供給量を制御して袋状部材17を被加工物11の曲面形状と同一形状にする制御手段と、袋状部材17に研磨運動を行わせる駆動手段23、16を備えている。
請求項（抜粋）：
曲面形状の被加工物を研磨する曲面研磨装置において、表面に研磨ポリッシャーを有した袋状部材と、前記袋状部材の内部に流体を供給して、前記袋状部材内の流体圧、もしくは流体の供給量を変化させることにより前記袋状部材の形状を変化させる流体供給手段と、前記袋状部材に研磨運動を行わせる駆動手段と、前記流体供給手段の前記袋状部材へ供給する前記流体の供給量を制御して、前記袋状部材の前記研磨ポリッシャーを前記曲面形状と同一形状にする制御手段を備えていることを特徴とする曲面研磨装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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