特許
J-GLOBAL ID：200903020992839194
エキシマレーザ発振装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-138971
公開番号（公開出願番号）：特開平6-334240
出願日： 1993年05月18日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：
【要約】【目的】 レーザガス循環用ファンの回転軸受の寿命の延長化を図る。【構成】 1はレーザガス容器、2はガス循環用ファン、3はガス循環用ファン2の回転軸、4は回転軸3の軸受である。5はレーザガス容器1内のダストを含んだガスの一部を導くダストフィルタ、6はダストフィルタ5で清浄化されたガスの一部を軸受4に導く流路である。そして、軸受4の周辺部にハウジング7によって形成したガス溜まり8が設けられている。また、回転軸3とハウジング7との間隔δは1mm以下に設定している。
請求項（抜粋）：
レーザガス循環用ファンを備え、稀ガスとハロゲンガスの混合ガス中で高電圧パルス放電を行いレーザ光を発生させるエキシマレーザ装置において、放電電極のスパッタ等に発生する微粒子を捕集するため集塵装置を備え、この集塵装置で清浄化されたレーザガスの一部を前記レーザガス循環用ファンの軸受に吹き付ける流路と、前記軸受の周辺に前記清浄化されたレーザガスを溜めるためのガス溜まりと、このガス溜まりに前記微粒子を含むガスの侵入を防止する手段とを設けたことを特徴とするエキシマレーザ発振装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/03 J
, H01S 3/097 Z
