特許
J-GLOBAL ID：200903020994062588
除振装置および制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-076670
公開番号（公開出願番号）：特開平10-252822
出願日： 1997年03月13日
公開日（公表日）： 1998年09月22日
要約：
【要約】【課題】 装置設置基礎などの外部から伝達する振動に対する除振性能を損なうことなく除振台に搭載された機器の荷重移動に起因した振動を従来より大幅に低減し、除振台に搭載された精密機器への悪影響を抑えるとともに、除振台に搭載されていない外部機器との機械的干渉を回避するための余裕を十分に確保する。【解決手段】 XYステージなどの駆動手段を備えた機器11を搭載する除振台1と、除振台を防振支持するとともに除振台に制御力を加えるアクチュエータとを備えた除振マウント2と、除振台の位置を検出する位置検出手段3と、前記位置の目標値と位置検出手段3の出力との差信号を補償して、前記アクチュエータにフィードバックする補償手段4とを備えた除振装置において、機器11が除振台上で駆動するとき、それにより生じる除振台の位置の変化を相殺するように前記目標値を設定する目標値設定手段5を具備する。
請求項（抜粋）：
XYステージなどの駆動手段を備えた機器を搭載する除振台と、前記除振台を支持する防振支持機構と、前記除振台に制御力を加えるアクチュエータと、前記除振台の位置を検出する位置検出手段と、前記位置を所定の値に維持するために、前記位置の目標値と前記位置検出手段の出力信号との差信号を補償して前記アクチュエータにフィードバックする補償手段とを備えた除振装置において、前記機器が前記除振台上で駆動するとき、それにより生じる前記除振台の位置の変化を相殺するように前記目標値を設定する目標値設定手段を具備することを特徴とする除振装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
F16F 15/04 A
, F16F 15/04 F
, H01L 21/30 503 F
