特許
J-GLOBAL ID:200903020996258927
液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
落合 稔
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-075324
公開番号(公開出願番号):特開2004-283635
出願日: 2003年03月19日
公開日(公表日): 2004年10月14日
要約:
【課題】液滴吐出ヘッドやワークの損傷を有効に防止して、厚みの異なる種々のワークに適切に対応させることができる液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題とする。【解決手段】ワークWに対し液滴吐出ヘッド21を、これが搭載されるキャリッジ23を介してX・Y軸方向に相対的に移動させるX・Y軸移動手段29と、キャリッジ23を介して液滴吐出ヘッド21をZ軸方向に移動させ、ワークWの表面と液滴吐出ヘッド21のノズル面141との間のワークギャップを微調整するZ軸移動手段155と、ワークギャップが所定値以下になったリミット状態を検出するギャップ検出手段226と、を備え、ギャップ検出手段226がリミット状態を検出したときに、X・Y軸移動手段29の駆動をインタロックする。【選択図】 図13
請求項(抜粋):
ワークに対し液滴吐出ヘッドを、これが搭載されるキャリッジを介してX・Y軸方向に相対的に移動させるX・Y軸移動手段と、
前記キャリッジを介して前記液滴吐出ヘッドをZ軸方向に移動させ、前記ワークの表面と前記液滴吐出ヘッドのノズル面との間のワークギャップを微調整するZ軸移動手段と、を備えた液滴吐出装置において、
前記ワークギャップが所定値以下になったリミット状態を検出するギャップ検出手段と、
前記ギャップ検出手段が前記リミット状態を検出したときに、前記Z軸移動手段および/または前記X・Y軸移動手段の駆動をインタロックする移動制御手段と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
IPC (5件):
B05C5/00
, B05C11/10
, G02B5/20
, H05B33/10
, H05B33/14
FI (5件):
B05C5/00 101
, B05C11/10
, G02B5/20 101
, H05B33/10
, H05B33/14 A
Fターム (23件):
2H048BA02
, 2H048BA11
, 2H048BA55
, 2H048BA64
, 2H048BB02
, 2H048BB42
, 3K007AB18
, 3K007BA06
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4F041AA02
, 4F041AA05
, 4F041AB01
, 4F041BA04
, 4F041BA10
, 4F041BA13
, 4F041BA22
, 4F042AA02
, 4F042AA06
, 4F042AA10
, 4F042AB00
, 4F042BA08
, 4F042CC08
引用特許:
審査官引用 (7件)
-
ディスペンサ移動制御装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-343415
出願人:サンケン電気株式会社
-
ペースト塗布機
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-337094
出願人:日立テクノエンジニアリング株式会社
-
液体塗布装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-120079
出願人:日本電気エンジニアリング株式会社
全件表示
前のページに戻る