特許

J-GLOBAL ID：200903021006946456

アクチュエータ及びその製造方法

発明者： 網 隆明 ,  石田 祐一 ,  長沢 直美 ,  鈴木 真之
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 杉浦 正知
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-043397
公開番号（公開出願番号）：特開2002-246670
出願日： 2001年02月20日
公開日（公表日）： 2002年08月30日
要約：

【要約】【課題】 電気刺激入力により比較的速い応答速度で制御性良く伸縮動作を行わせることができ、圧電素子として比較して充分大きな変位を得ることができ、しかも特定の方向に伸縮動作を行わせることができ、溶液供給系も不要であり、バランスの良い特性を有するアクチュエータ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 (001)導電性SrTiO3 基板1上に層間化合物であるKTiNbO5 薄膜を形成し、そのイオン交換を行ってHTiNbO5 薄膜を形成し、更にこのHTiNbO5 薄膜に対してトリメチルステアリルアンモニウムイオン(TMSA)のインターカレーションを行うことにより(TMSA)TN薄膜2を形成する。この(TMSA)TN薄膜2上に上部電極3を形成し、SrTiO3 基板1の裏面に下部電極4を形成して薄膜アクチュエータを構成する。上部電極3と下部電極4との間に電圧を印加することにより伸縮動作を行わせる。

請求項（抜粋）：

層状化合物の層間物質の状態を変化させることにより層間距離を変化させ、伸縮動作を行わせるようにしたことを特徴とするアクチュエータ。

IPC (3件)：

H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22

FI (4件)：

H01L 41/08 C ,  H01L 41/18 101 B ,  H01L 41/18 101 J ,  H01L 41/22 Z