特許

J-GLOBAL ID：200903021021081186

感光性重合体組成物

発明者： 上田 篤 ,  佐藤 任廷
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-106616
公開番号（公開出願番号）：特開平6-317906
出願日： 1993年05月07日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：

【要約】 (修正有)【構成】 溶剤の存在下に芳香族四塩基酸二無水物1モルに対して、炭素数4以下の1価のアルコールおよび/または炭素数4以下の1価のアルコール誘導体1.6〜2.0モルを加えて加熱し、芳香族四塩基酸二無水物の全部または一部をジエステルとした後、一般式(I)(式中、R1は芳香族環状基、R2は水素または炭素数3以下の炭化水素基を示し、R2同士は相違してもよい)で表されるアミン化合物0.2〜1モルとジアミン化合物0〜0.8モルをアミン化合物とジアミン化合物の総量が1.0モルとなる量で反応させて得られるポリイミド系樹脂前駆体100重量部ならびにアクリル酸および/またはメタクリル酸1〜400重量部を含有する。【効果】 配線段差の平坦化性と微細な溝状パターンの埋込性が良好で、従来の加工プロセスでパターン化可能なポリイミド膜が得られる。

請求項（抜粋）：

溶剤の存在下に芳香族四塩基酸二無水物1モルに対して、炭素数4以下の1価のアルコールおよび/または炭素数4以下の1価のアルコール誘導体1.6〜2.0モルを加えて加熱し、芳香族四塩基酸二無水物の全部又は一部をジエステルとした後、一般式(I)【化1】(式中、R1は芳香族環状基、R2は水素または炭素数3以下の炭化水素基を示し、R2同士は相違してもよい)で表されるアミン化合物0.2〜1モルとジアミン化合物0〜0.8モルをアミン化合物とジアミン化合物の総量が1.0モルとなる量で反応させて得られるポリイミド系樹脂前駆体100重量部ならびにアクリル酸および/またはメタクリル酸1〜400重量部を含有してなる感光性重合体組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/031 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312 ,  H05K 3/28 ,  H05K 3/46