特許

J-GLOBAL ID：200903021031665844

圧電素子の収納容器

発明者： 前田 佳男 ,  三浦 禎次 ,  野瀬 保人 ,  生坂 芳則
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-279124
公開番号（公開出願番号）：特開平5-121989
出願日： 1991年10月25日
公開日（公表日）： 1993年05月18日
要約：

【要約】【目的】 圧電素子用の気密封止に優れた実装用平板型収納容器を提供する。【構成】 底面側部材と上面側部材とを貼り合わせて、キャビティ内部に圧電素子を固着封止させる圧電素子の収納容器において、底面側部材としてのシリコン基板に角錐状の貫通孔と、サイド電極用の斜面をエッチングにより一括して形成し、金属薄膜にて貫通孔の斜面とサイド電極をパターニング配線することにより、圧電素子の外部電極とし、且導電性封止材あるいは絶縁材にて封止したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

構成部材が二部材以上よりなり、その上面側部材または底面側部材の少なくとも一方に凹部を設け、凹部に圧電素子を固着させ、前記構成部材を接合して封入した圧電素子の収納容器において、圧電素子を固着した底面側部材に外部電極引出し用の貫通孔を設けたことを特徴とする圧電素子の収納容器。