特許
J-GLOBAL ID：200903021034227775
オージェ電子分光装置およびスペクトル測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 徳廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-259863
公開番号（公開出願番号）：特開2001-083111
出願日： 1999年09月14日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：
【要約】【課題】 極薄膜試料の傾斜角を短時間で最適化することができ、極薄膜分析における深さ方向分解能が改善されたオージェ電子分光装置を提供する。【解決手段】 オージェ電子分光装置において、試料からのオージェ電子取出し角を自動調整する自動試料傾斜手段42と、該オージェ電子取出し角でスペクトルを測定する手段41と、該スペクトルから試料の層構造を最も反映する試料傾斜角θを判定し自動試料傾斜手段42にフィードバックする機構41を有するオージェ電子分光装置。
請求項（抜粋）：
オージェ電子分光装置において、試料からのオージェ電子取出し角を自動調整する自動試料傾斜手段と、該オージェ電子取出し角でスペクトルを測定する手段と、該スペクトルから試料の層構造を最も反映する試料傾斜角を判定し自動試料傾斜手段にフィードバックする機構を有することを特徴とするオージェ電子分光装置。
Fターム (18件)：
2G001AA03
, 2G001AA05
, 2G001BA06
, 2G001BA09
, 2G001CA03
, 2G001GA01
, 2G001GA03
, 2G001GA08
, 2G001GA13
, 2G001JA07
, 2G001JA11
, 2G001JA20
, 2G001KA01
, 2G001KA20
, 2G001MA05
, 2G001PA15
, 2G001PA30
, 2G001RA04
