特許

J-GLOBAL ID：200903021036698155

電子顕微鏡及び3次元原子配列観察方法

発明者： 常田 るり子 ,  柿林 博司 ,  中村 邦康 ,  関原 謙介 ,  本池 順
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-099202
公開番号（公開出願番号）：特開平8-292164
出願日： 1995年04月25日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：

【要約】【目的】2次元の電子顕微鏡像から試料の3次元原子配列像を高精度に構築するために必要な2次元像観察法及び3次元画像再構成法を提供する。【構成】TEM像コントラストが試料の厚さ及び原子番号が像コントラストと対応するように数十mrad以上の高角散乱電子線で結像する。また試料を傾斜させた時の試料内の特徴点の位置変化を解析することによって傾斜軸を特定する。解析領域の周りの結晶が解析結果に悪影響を及ぼさないように、解析に不必要な領域を削除する。【効果】ULSI素子等の実試料中の不純物原子及びそれらのクラスタの3次元的な構造を原子1個のレベルで解析し、リーク電流や耐圧不良などULSI素子の不良解析に有効な情報を提供する。

請求項（抜粋）：

薄膜化した試料の2次元投影像を透過電子顕微鏡で観察する工程、前記観察を試料を傾斜しながら複数回繰り返す工程、前記工程で観察した複数の2次元投影像を画像処理して試料の3次元構造を再構成する工程から成る試料構造の3次元観察法において、前記3次元構造を再構成する工程は複数の2次元投影像から試料の傾斜軸の方向を特定する工程を含むことを特徴とする3次元原子配列観察方法。