特許
J-GLOBAL ID：200903021041695822
位置検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 政喜 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-344901
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194110
出願日： 1992年12月24日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】 相対位置を検出するスケールと基準位置を検出するスケールとを一体に形成し、絶対位置を高精度に計測する。【構成】 深さM1で形成された弱磁性部をアクチュエータ30の移動方向にピッチPで配設した磁気スケール2と、弱磁性部のうち磁気スケール2の所定の不等間隔で配設された基準点に対応する弱磁性部を深さM2で形成する。磁気スケール2に対応して2相の正弦波を出力する磁気センサ5と、磁気センサ5の出力から相対位置を演算する手段10と、磁気センサ5の出力から基準点を検出する手段20と、現在の基準点と直前の基準点の間隔を算出する手段22と、基準点に対応した絶対位置を格納する手段24と、基準点の間隔に基づいて絶対位置格納手段24の絶対位置信号を制御する手段23と、絶対位置信号制御手段23が読み出す基準点の絶対位置と相対位置から絶対位置を演算する手段21を備える。
請求項（抜粋）：
所定の深さで形成された弱磁性部をアクチュエータの移動方向に所定のピッチで配設した磁気スケールと、前記弱磁性部のうち磁気スケールの所定の不等間隔で配設された基準位置に対応する弱磁性部を所定の深さで形成した基準点と、前記磁気スケールのピッチに対応して90度の位相差をもった正弦波を出力する一対の磁気センサと、これら磁気センサの出力から相対位置を演算する手段と、前記磁気センサの出力から基準点を検出する手段と、前記基準点と直前に検出した基準点との間隔を算出する手段と、前記磁気スケールの基準点に対応した絶対位置を格納する手段と、前記基準点の間隔に基づいて前記格納手段の絶対位置信号を制御する手段と、前記絶対位置信号制御手段が読み出す基準点の絶対位置と前記算出された相対位置とから絶対位置を演算する手段とを備えたことを特徴とする位置検出装置。
IPC (3件)：
G01B 7/00
, G01D 5/244
, G01D 5/245 101
