特許
J-GLOBAL ID：200903021047262529
ピット形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-240208
公開番号（公開出願番号）：特開平6-089467
出願日： 1992年09月09日
公開日（公表日）： 1994年03月29日
要約：
【要約】【目的】ネガレジスト上にコントラスト増強剤を組み合わせることにより、従来にない短小なピットをネガレジスト上に形成する。【構成】強化ガラス基板10上にネガレジスト11を塗布し、更にその上からコントラスト増強剤13とネガレジストとの拡散防止のためのバリアコート剤12を塗布し、この状態でピット露光することにより露光ビームの強度の強い部分のみビームが透過し、感光されるネガレジストの領域が狭くなる。また、ネガレジストの現像時間を長くすることにより、更に短小なピットを形成する。
請求項（抜粋）：
ガラス基板上にネガ型フォトレジストを塗布し、その上からコントラスト増強剤を塗布した構造を持つ原盤を使用し、この原盤を露光することにより、露光後に感光される領域を狭め前記コントラスト増強剤を取り除いた後、前記ネガ型フォトレジストの現像時間をネガレジスト単体を現像する時の最適現像時間の2倍から3倍長くし、より小さなピットを形成することを特徴とするピット形成方法。
引用特許：
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