特許

J-GLOBAL ID：200903021048495683

研磨性能を高め寿命を延ばす研磨パッド担体

発明者： オーベン,ヤウ エス. ,  トーマス,ピーター, エー.
出願人/特許権者： サイロクエスト インコーポレーテッド
代理人 (9件)： 岡部 正夫 ,  加藤 伸晃 ,  産形 和央 ,  岡部 讓 ,  臼井 伸一 ,  越智 隆夫 ,  本宮 照久 ,  朝日 伸光 ,  三山 勝巳
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-536072
公開番号（公開出願番号）：特表2005-537946
出願日： 2003年09月02日
公開日（公表日）： 2005年12月15日
要約：

本発明は、研磨特性および寿命を向上させた研磨パッド(230)を提示する。パッドは、凹型セル(244)からなる表面(242)を持つ熱可塑性フォーム基材(240)からなる。研磨材(246)により、凹型セルの内面(248)をコーティングする。本発明は、研磨パッドを準備する方法、および研磨パッドを備える研磨装置(200)を含む。

請求項（抜粋）：

研磨パッドであって、 凹型セルからなる表面を持つ熱可塑性フォーム基材と、 前記凹型セルの内面をコーティングする研磨材とを含む研磨パッド。

IPC (4件)：

B24D11/00 ,  B24B37/00 ,  B24D3/00 ,  H01L21/304

FI (5件)：

B24D11/00 E ,  B24B37/00 C ,  B24D3/00 320A ,  B24D3/00 320Z ,  H01L21/304 622F

Fターム (16件)：

3C058AA02 ,  3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  3C058CB04 ,  3C058CB05 ,  3C058CB10 ,  3C058DA02 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17 ,  3C063AA03 ,  3C063BA24 ,  3C063BB01 ,  3C063BC03 ,  3C063BG08 ,  3C063EE26

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 米国特許第6425816号
  
• 米国特許第6425803号
  
• 米国特許出願第09/994407号