特許
J-GLOBAL ID：200903021051625164

圧電素子およびその製造方法

発明者：
中川 哲男

中川 哲男 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-304714
公開番号（公開出願番号）：特開平11-145758
出願日： 1997年11月06日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：
【要約】【課題】 電極膜を構成する貴金属電極層を除去しなくても絶縁性の表面保護膜を広い範囲にわたって形成することを可能にして、ウイスカーなどに起因する短絡の防止と、電極膜の低抵抗化と、CI値の経時的な増大や周波数の変化の抑制を図ることのできる圧電素子を提供する。【解決手段】 圧電素子1は音叉型水晶振動子であり、圧電素子片2の両面には、それぞれ所定のギャップ10を隔てて2つの電極膜40が形成されている。電極膜40では、金電極層42Aが下地金属膜41表面に積層され、かつ、金電極層42Aの表面は、その表面に形成されたチオール処理膜44と、絶縁性の表面保護膜45とによって覆われている。表面保護膜45は、金属アルコキシドの縮合膜、またはポリシラザンの熱処理膜であり、プラグ30の内部端子32と圧電素子片2とのはんだ接続部分も覆っている。
請求項（抜粋）：
所定のギャップを隔てて2つ以上の電極膜が形成された圧電素子片と、該圧電素子片が搭載されたプラグとを有する圧電素子において、前記電極膜は、前記圧電素子片表面に積層された下地金属膜と、該下地金属膜表面に積層された金電極層とを備え、当該金電極層の表面は、その表面に形成されたチオール処理膜と、該チオール処理膜の表面側に形成された絶縁性の表面保護膜とによって覆われていることを特徴とする圧電素子。
IPC (4件)：
H03H 9/13 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/19 ,  H03H 9/215
FI (4件)：
H03H 9/13 ,  H03H 3/02 B ,  H03H 9/19 J ,  H03H 9/215
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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