特許

J-GLOBAL ID：200903021059914777

蒸着膜厚測定方法及び蒸着システム

発明者： 黄 ▲びん▼ ▲てい▼ ,  李 星 昊
出願人/特許権者： 三星エスディアイ株式会社
代理人 (3件)： 八田 幹雄 ,  奈良 泰男 ,  宇谷 勝幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-370950
公開番号（公開出願番号）：特開2006-188762
出願日： 2005年12月22日
公開日（公表日）： 2006年07月20日
要約：

【課題】垂直上下方向に移動する蒸着源から噴射される有機気相物質の蒸着率から基板に形成される蒸着膜の厚さを正確に換算することができる蒸着膜厚測定方法及びこれを用いた蒸着システムを提供する。【解決手段】蒸着率測定センサー26が蒸着源20から基板30に噴射される物質の蒸着率を感知する段階と、感知された蒸着率を制御部に伝送する段階と、感知された蒸着率と蒸着率測定センサー26のライフ数値を媒介変数とする変換式によって基板30に形成される蒸着膜の厚さを換算する段階からなる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

蒸着率測定センサーが蒸着源から基板に噴射される物質の蒸着率を感知する段階と、 前記感知された蒸着率と前記蒸着率測定センサーのライフ数値を媒介変数とする変換式によって前記基板に形成される蒸着膜の厚さを算出する段階と、を有することを特徴とする蒸着膜厚測定方法。

IPC (3件)：

C23C 14/24 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50

FI (3件)：

C23C14/24 U ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A

Fターム (9件)：

3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029BA62 ,  4K029BB03 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029DB11 ,  4K029EA01

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 韓国特許公開第2000-25932号明細書
  
• 韓国実用新案公開第1999-707号明細書