結像面における撮像対象の位置測定方法及び装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平田忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-270382
公開番号（公開出願番号）：特開平9-113218
出願日： 1995年10月18日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：

【要約】【課題】構成の簡素化及びコストダウンを図ること。【解決手段】撮像対象物1の対象表面2に、少なくともN個(Nは1以上の整数)の交点を提供する少なくともN+1以上の線分、或いはN個(Nは3以上の整数)の交点を提供する少なくともN以上の線分を含むマーク3を設け、このマーク3を少なくとも2つの1次元光センサ6a、6b上に結像させる。1次元光センサ6から長さ方向に光の強度分布を有したセンサ信号が出力されると、演算ユニット9はセンサ信号に基づいてマーク像3’の線分の位置を演算する。この演算結果から結像面7における少なくともN個の交点の位置を演算する。

請求項（抜粋）：

少なくともN個(Nは1以上の整数)の交点を提供する少なくともN+1以上の線分を含み、測定対象物の変位に応じて変位するマークを前記測定対象物にある第1の平面に形成し、第2の平面に少なくとも2つの1次元光センサを配置し、前記マークに含まれる前記少なくともN+1以上の線分の線分像を前記第2の平面に形成して前記少なくとも2つの1次元光センサに長さ方向の受光強度分布を表す受光信号を発生させ、前記受光信号に基づいて前記少なくともN+1以上の線分の前記線分像の前記少なくとも2つの1次元光センサ上の位置を演算し、前記少なくとも2つの1次元光センサ上の位置に基づいて前記マークに含まれる前記少なくともN+1以上の線分によって提供される前記少なくともN個の交点の位置を演算することを特徴とする結像面における撮像対象の位置測定方法。

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