誘電体複合薄膜とその応用素子

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-073832
公開番号（公開出願番号）：特開2001-266646
出願日： 2000年03月16日
公開日（公表日）： 2001年09月28日
要約：

【要約】【課題】本発明は、2種以上の誘電率の異なる誘電体を同一基板上に容易に積層できる誘電体複合薄膜を提供することを目的とする。【解決手段】誘電率ε1の第1の誘電体11と誘電率ε2の第2の誘電体12を同一基板上に所定の形状に形成し、高周波用アンテナを作成する。

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に、誘電率が異なる物質でかつ焼結性の異なる、少なくとも2種類の薄膜が製膜され、所定の形状にパターニングされていることを特徴とする誘電体複合薄膜。

IPC (9件)：

H01B 3/00 , C23C 14/06 , C23C 14/28 , C23C 16/40 , H01P 1/20 , H01P 3/16 , H01P 11/00 , H01Q 13/00 , C04B 41/89

FI (9件)：

H01B 3/00 F , C23C 14/06 P , C23C 14/28 , C23C 16/40 , H01P 1/20 A , H01P 3/16 , H01P 11/00 J , H01Q 13/00 , C04B 41/89 A

Fターム (45件)：

4K029AA04 , 4K029AA24 , 4K029BA50 , 4K029BB02 , 4K029BB07 , 4K029BC00 , 4K029CA01 , 4K029CA05 , 4K029DB14 , 4K029DB20 , 4K029DB21 , 4K029DC16 , 4K029EA03 , 4K029EA08 , 4K030BA01 , 4K030BA18 , 4K030BA29 , 4K030BA42 , 4K030BB12 , 4K030CA05 , 4K030CA12 , 4K030DA08 , 4K030JA09 , 4K030JA10 , 4K030LA01 , 5G303AA02 , 5G303AA10 , 5G303AB06 , 5G303AB20 , 5G303BA03 , 5G303CA01 , 5G303CB06 , 5G303CB17 , 5G303CB30 , 5G303CB35 , 5G303DA01 , 5J006HC21 , 5J006HC24 , 5J014CA55 , 5J014HA02 , 5J045AA01 , 5J045AA02 , 5J045AB06 , 5J045DA10 , 5J045MA07

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