特許
J-GLOBAL ID:200903021070206490

周波数安定化パルス発振レーザ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 木内 光春
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-278048
公開番号(公開出願番号):特開平5-121816
出願日: 1991年10月24日
公開日(公表日): 1993年05月18日
要約:
【要約】【目的】 レーザ媒質を励起することに起因するスレーブレーザ共振器の光学的長さの変化とは無関係に、そのインジェクションロック動作における発振周波数を確実に安定化可能な、優れた周波数安定化パルス発振レーザを提供する。【構成】 パルス発振するスレーブレーザ1と、CW発振するマスターレーザ2に加えて、マスター光の一部とスレーブレーザ出力光の一部とを入射する比較干渉計3を設ける。パルス光測定用ディテクタ6とCW光測定用ディテクタ7によって、比較干渉計3を通過したスレーブレーザ出力光及びマスター光の強度を測定する。比較干渉計制御装置5により、ディテクタ7の出力が極大となるように比較干渉計3の微動装置17を制御する。共振器制御装置4により、ディテクタ6の出力が極大となるようにスレーブレーザ1の共振器微動装置11を制御する。
請求項(抜粋):
共振器長制御用微動装置を備えてパルス発振するスレーブレーザと、予め安定化された発振周波数によってCW発振するマスターレーザと、ミラー間隔制御用微動装置を備え、前記マスターレーザからの出力光の一部と前記スレーブレーザからの出力光の一部とを互いに重ね合わせて入射する比較用ファブリペロー干渉計と、前記比較用ファブリペロー干渉計を通過した前記スレーブレーザからの出力光の一部を受光し、その強度を測定するパルス光測定用ディテクタと、前記比較用ファブリペロー干渉計を通過した前記マスターレーザからの出力光の一部を受光し、その強度を測定するCW光測定用ディテクタと、前記CW光測定用ディテクタの出力が極大となるように、前記比較用ファブリペロー干渉計の前記ミラー間隔制御用微動装置を制御する比較用ファブリペロー干渉計制御装置と、前記パルス光測定用ディテクタの出力が極大となるように、前記スレーブレーザの前記共振器長制御用微動装置を制御するスレーブレーザ共振器長制御装置とを備えたことを特徴とする周波数安定化パルス発振レーザ。
IPC (3件):
H01S 3/105 ,  H01S 3/139 ,  H01S 3/23

前のページに戻る