特許
J-GLOBAL ID：200903021071868292
フォトン走査トンネル顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩橋 祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-029819
公開番号（公開出願番号）：特開平9-196938
出願日： 1996年01月23日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：
【要約】【課題】 本発明の目的は、被測定物の表面形状と共に、その成分等の回析も行い得るフォトン走査トンネル顕微鏡を提供することにある。【解決手段】 被測定試料10表面のエバネッセント光16の場へプローブ18を進入させることにより発生する散乱光20を採取する散乱光採取手段18と、前記散乱光採取手段18により採取された散乱光をレイリー光とラマン光に分離する分離手段32と、前記分離手段32により分離されたレイリー光強度より被測定試料10表面と前記プローブ18との離隔情報を得る離隔情報取得手段34と、前記分離手段32により分離されたラマン光を分光しラマン分光スペクトル情報を得るスペクトル情報取得手段36と、を備えたことを特徴とするフォトン走査トンネル顕微鏡。
請求項（抜粋）：
被測定試料表面のエバネッセント光の場へプローブを進入させることにより発生する散乱光を採取する散乱光採取手段と、前記散乱光採取手段により採取された散乱光をレイリー光とラマン光に分離する分離手段と、前記分離手段により分離されたレイリー光強度より被測定試料表面と前記プローブとの離隔情報を得る離隔情報取得手段と、前記分離手段により分離されたラマン光を分光しラマン分光スペクトル情報を得るスペクトル情報取得手段と、を備えたことを特徴とするフォトン走査トンネル顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 D
, G01B 11/30 Z
