特許

J-GLOBAL ID：200903021075074568

ダイシング装置及びダイシング方法

発明者： 和久井 元明 ,  落合 公 ,  ロン イヤル ,  ギル シェトリット
出願人/特許権者： キューリック・アンド・ソファ リミテッド ,  三洋電機株式会社 ,  関東三洋セミコンダクターズ株式会社
代理人 (1件)： 須藤 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-029578
公開番号（公開出願番号）：特開2004-241626
出願日： 2003年02月06日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：

【課題】基板が貼り合わされたウエハーを部分的にダイシングするダイシング工程において、回転ブレードの位置補正アルゴリズムを提供する。【解決手段】認識カメラ15を用いて、切削溝216の幅L1及び、切削溝216内のパッド211a,211b間の距離L2を検出する。この検出結果に基づいて切削溝216の幅L1のセンターライン250と真のセンターライン310との距離差である位置補正データΔyを算出する。切削溝216内のパッド211a,211b間の距離L2と、この距離L2の目標値との差に基づいて、切削溝216の深さ方向の位置補正データΔzを算出する。これらの位置補正データΔy、Δzを用いて回転ブレード11の位置補正を行う。【選択図】 図6

請求項（抜粋）：

ウエハーが載置されるウエハーステージと、該ウエハーステージ上に配置されたブレードと、該ブレードによって前記ウエハーのダイシングライン領域に形成された切削溝の中に検出光を入射させるための光源と、前記切削溝からの反射光に基づいて前記切削溝の形状を検出する認識カメラと、該認識カメラの検出結果に基づいて前記切削溝のセンターラインが所定位置となり、かつ前記切削溝の深さが所定値となるように前記ブレードの位置補正を行う位置補正手段と、を具備することを特徴とするダイシング装置。

IPC (1件)：

H01L21/301

FI (1件)：

H01L21/78 F

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ダイシング装置の溝切制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-107936   出願人：株式会社東京精密
• 特開平4-267106