特許
J-GLOBAL ID：200903021079849599
プラズマエッチング用電極板
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-282112
公開番号（公開出願番号）：特開平6-128762
出願日： 1992年10月21日
公開日（公表日）： 1994年05月10日
要約：
【要約】【目的】 エッチング時にウエハ面に付着する粉末粒子の粒子数が少ないプラズマエッチング用電極板を提供する。【構成】 プラズマにより消耗する部位の表面平滑度がRmax6μm以下であるガラス状炭素からなるプラズマエッチング用電極板。
請求項（抜粋）：
プラズマにより消耗する部位の表面平滑度がRmax6μm以下であるガラス状炭素からなるプラズマエッチング用電極板。
IPC (3件)：
C23F 4/00
, H01L 21/302
, H05H 1/46
