特許
J-GLOBAL ID：200903021091332518

薄膜型電子源およびその製造方法並びに薄膜型電子源応用機器

発明者：
楠 敏明

楠 敏明 について

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鈴木 睦三

鈴木 睦三 について

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佐川 雅一

佐川 雅一 について

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岡井 誠

岡井 誠 について

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石坂 彰利

石坂 彰利 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-211528
公開番号（公開出願番号）：特開2001-035357
出願日： 1999年07月27日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：
【要約】【課題】 電子放出効率を低下させることなく、かつ歩留まりを向上させることができる薄膜型電子源を提供する。【解決手段】 行(または列)方向に設けられる複数の下部電極と、各下部電極上に列(または行)方向に設けられ、第1のバス電極と、第1のバス電極より厚い第2のバス電極との積層膜から成る複数の上部バス電極と、各上部バス電極の第2のバス電極上に設けられる第1の絶縁膜と、各第1の絶縁膜上に設けられる上部電極と、各下部電極と各上部バス電極との交差部に設けられる電子放出部とを有する薄膜型電子源であって、各第1の絶縁膜は、各上部バス電極の第1および第2のバス電極の側面より外側に延長される段差部を有し、各上部電極は、各第1の絶縁膜の段差部により、各上部バス電極毎に電気的に分離されている。
請求項（抜粋）：
行(または列)方向に設けられる複数の下部電極と、前記各下部電極上に列(または行)方向に設けられ、第1のバス電極と、前記第1のバス電極より厚い第2のバス電極との積層膜から成る複数の上部バス電極と、前記各上部バス電極の第2のバス電極上に設けられる第1の絶縁膜と、前記各第1の絶縁膜上に設けられる上部電極と、前記各下部電極と前記各上部バス電極との交差部に設けられる電子放出部とを有する薄膜型電子源であって、前記各第1の絶縁膜は、前記各上部バス電極の第1および第2のバス電極の側面より外側に延長される段差部を有し、前記各上部電極は、前記各第1の絶縁膜の段差部により、各上部バス電極毎に電気的に分離されていることを特徴とする薄膜型電子源。
IPC (6件)：
H01J 1/312 ,  G09F 9/30 348 ,  H01J 9/02 ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12 ,  H01J 37/06
FI (6件)：
H01J 1/30 M ,  G09F 9/30 348 A ,  H01J 9/02 M ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12 C ,  H01J 37/06 Z
Fターム (19件)：
5C030BB02 ,  5C030BB17 ,  5C030BC09 ,  5C031DD09 ,  5C036EE14 ,  5C036EE19 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EG02 ,  5C036EG12 ,  5C036EH01 ,  5C094AA07 ,  5C094AA42 ,  5C094BA31 ,  5C094CA19 ,  5C094DA15 ,  5C094EA03 ,  5C094EA07 ,  5C094GB01
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
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