特許
J-GLOBAL ID：200903021096822203
波長可変半導体レーザ光源
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-054580
公開番号（公開出願番号）：特開平7-240558
出願日： 1994年02月28日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：
【要約】【目的】 半導体レーザの発振波長を位相連続で高分解能に設定する波長可変半導体レーザを提供する。【構成】 半導体レーザ1の一方の端面に無反射膜1Aを施し、この端面からの出射光3Bをビームスプリッタ4で透過光3Cと反射光3Dに二分岐し、回折格子5を回転ステージ6上に固定し、ビームスプリッタ4を透過した透過光3Cを入射させ、平行移動ドライブ回路13により平行移動ステージ7で回転ステージ6を半導体レーザ1の光軸方向に平行移動させる。PSD10はビームスプリッタ4を反射した反射光3Dを入射してこの変位量に比例した電気信号を出力し、波長設定部11は半導体レーザ1の発振波長を任意に設定し、比較器12でこの設定信号とPSD10からの電気信号とを比較して平行移動ドライブ回路13へ帰還し、これを駆動する。
請求項（抜粋）：
一方の端面に無反射膜(1A)を施す半導体レーザ(1) と、無反射膜(1A)を施した端面からの出射光(3B)を透過光(3C)と反射光(3D)に二分岐するビームスプリッタ(4) と、回転ステージ(6) 上に固定し、ビームスプリッタ(4) を透過した透過光(3C)を入射する回折格子(5) と、回転ステージ(6) を半導体レーザ(1) の光軸方向に平行移動させる平行移動ステージ(7) と、平行移動ステージ(7) を駆動する平行移動ドライブ回路(13)と、ビームスプリッタ(4) を反射した反射光(3D)を入射し、反射光(3D)の変位量に比例した電気信号を出力するPSD(10)と、半導体レーザ(1) の発振波長を任意に設定する波長設定部(11)と、波長設定部(11)からの設定信号とPSD(10)からの電気信号とを比較して平行移動ドライブ回路(13)へ帰還する比較器(12)とを備えることを特徴とする波長可変半導体レーザ光源。
IPC (3件)：
H01S 3/1055
, H01S 3/103
, H01S 3/18
