可変容量コンデンサ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-241627
公開番号（公開出願番号）：特開平9-082569
出願日： 1995年09月20日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：

【要約】【課題】本発明は、単一素子でありながら、コンデンサの性能指数を示すQ値が高く、VCOの構成部品として使用した際に共振回路に影響を及ぼす外部バイアス電圧のノイズを除去するための回路構成を必要としない可変容量コンデンサを提供する。【解決手段】可動電極を構成する可動部には第一の電極と、第二の電極が設けられる。一方、絶縁支持台には、第一の電極に対向して駆動電極が設けられ、さらに第二の電極に対向して検出電極が設けられる。第一の電極および駆動電極と、第二の電極および検出電極の間は電気的に分離されているため、両者の絶縁性が保たれる。また、第一の電極と駆動電極の間に外部バイアス電圧を印加すると、両者の間にはク-ロン力が発生する。このため、可動部は、自らの弾力(復元力)とク-ロン力との釣り合いを保ちながら、駆動電極に引き寄せられる。これにともなって、第二の電極と検出電極の平均距離が狭くなる。第二の電極と検出電極の間の静電容量は平均距離に反比例して変化する。

請求項（抜粋）：

絶縁支持台と、該絶縁支持台の表面に形成された駆動電極と、該駆動電極と一定の間隔を介して前記絶縁支持台の表面に形成された検出電極と、前記駆動電極に対向して設けられた第一の電極と該検出電極に対向して設けられた第二の電極を備えた可動部を有する可動電極と、前記駆動電極および該第一の電極の間に電圧を印加する手段とを備え、前記駆動電極と前記第一の電極の間のク-ロン力と前記可動部の弾力を用いて前記検出電極と前記第二の電極の間の静電容量を可変することを特徴とする可変容量コンデンサ。

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