特許
J-GLOBAL ID：200903021116349240
クラスターイオンビームの質量分離方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-088224
公開番号（公開出願番号）：特開平6-275400
出願日： 1993年03月22日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【構成】 ガスクラスターイオンビームをエネルギーアナライザーによってクラスター質量分離する。【効果】 ガスクラスターイオンの低エネルギー性と高い化学反応性を利用し、エレクトロニクス、オプトエレクトロニクス等において有用な、クラスターサイズの選択利用を可能とする。
請求項（抜粋）：
常温で気体状物質の塊状原子集団または分子集団であるクラスターを形成し、これに電子を浴びせて生成させたイオンを加速電圧によって加速するに際し、複数の開孔電極の開孔部にクラスタービームを通過させ、この電極に電圧印加してクラスターを質量分離することを特徴とするクラスターイオンビームの質量分離方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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