特許
J-GLOBAL ID：200903021124702596
電子線照射装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中沢 謹之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-108894
公開番号（公開出願番号）：特開平7-282755
出願日： 1994年04月11日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 電子線源部の機械的支持のための機構と、絶縁のための機構とを分離して、絶縁のための機構を、表面積が少なく、かつ電界の変動の影響が少ないようにする。【構成】 電子線源部のシールド電極3を、真空チャンバ1の壁に、耐熱性材料からなる碍子11によって機械的に支持する。フィラメント部2に接続される中心導体7を導入端子部に連結し、この導入端子部と真空チャンバとの間を絶縁機構14によって絶縁する。絶縁機構は、絶縁リング15と、リング状電極16とを交互にかつ多段に重ね合わせて構成する。各リング状電極間の分担電圧を均等とするための分圧抵抗19を接続する。
請求項（抜粋）：
電子線源部のフィラメント部をシールドしているシールド電極を、前記電子線源部が収納されてある真空チャンバの壁に、耐熱性材料からなる碍子によって機械的に支持するとともに、前記フィラメント部に接続される中心導体を導入端子部に連結し、前記導入端子部と前記真空チャンバとの間を、絶縁リングと、リング状電極とを交互にかつ多段に重ね合わした絶縁機構によって絶縁し、前記各リング状電極間に、前記絶縁リングの分担電圧を均等とするための分圧抵抗を接続してなる電子線照射装置。
IPC (3件)：
H01J 37/06
, G21K 5/04
, H01J 37/30
