特許

J-GLOBAL ID：200903021126576830

感光性ポリイミド前駆体組成物

発明者： 田村 一貴 ,  江口 益市 ,  浅野 昌也
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-111668
公開番号（公開出願番号）：特開平6-324492
出願日： 1993年05月13日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【構成】本発明は、ポリイミド前駆体、エチレン性不飽和二重結合およびアミノ基および/またはアミド基を有する化合物、特定のオキシム化合物を含有する感光性ポリイミド前駆体組成物に関する。【発明の効果】本発明における感光性ポリイミド前駆体組成物は容易に製造でき、かつ、ポジ型、ネガ型ともに優れた機能を有するので有用である。さらに現像後、キュアすることにより、性能が優れたポリイミド被膜を得ることができた。

請求項（抜粋）：

(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマ(A)、【化1】(ただし、式中R1 は少なくとも2個の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2 は少なくとも2個の炭素原子を有する2価の有機基、R3 は水素、アルカリ金属イオン、アンモニウムイオンまたは炭素数1〜30の有機基を表す。nは1または2である。)(b)エチレン性不飽和二重結合および、アミノ基および/またはアミド基を有する化合物(B)、および(c)一般式(2)で表されるオキシム化合物(C)【化2】(ただし、R4 は炭素数1〜10のアルキル基、炭素数5〜10のシクロアルキル基または炭素数7〜20のアリールアルキル基、R5 は水素原子、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数5〜10のシクロアルキル基、炭素数6〜20のアリール基、炭素数7〜20のアリールアルキル基、炭素数1〜10の脂肪族アシル基、炭素数1〜10の脂肪族スルフォニル基または炭素数6〜20の脂肪族スルフォニル基、R6 は炭素数1〜10のアルキル基、炭素数1〜10のアルコキシ基、炭素数5〜10のシクロアルキル基、炭素数6〜20のアリール基、炭素数6〜20のアリーロキシ基、炭素数7〜20のアリールアルキル基または炭素数2〜10の不飽和炭化水素を表す。)を含有することを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/038 ,  C08K 5/16 ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭62-273259
  
• 特開昭62-127840
  
• 特開昭62-184056
  
• 感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-127254   出願人：旭化成工業株式会社