特許
J-GLOBAL ID：200903021129923361
座標データ入力装置の入力パネル用透明電極膜
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 静男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-051434
公開番号（公開出願番号）：特開平8-249929
出願日： 1995年03月10日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：
【要約】【目的】 品質管理および工程管理の手間がITOからなる透明導電膜を得る場合と同等で、高いシート抵抗を有する薄膜であるにもかかわらず電気伝導度の経時変化が小さい、座標データ入力装置の入力パネル用透明電極膜を提供する。【構成】 本発明の座標データ入力装置の入力パネル用透明電極膜は、主要カチオン元素としてインジウム(In)および亜鉛(Zn)を含有する酸化物からなり、膜厚が50〜500オングストロームであることを特徴とするものである。
請求項（抜粋）：
主要カチオン元素としてインジウム(In)および亜鉛(Zn)を含有する酸化物からなり、膜厚が50〜500オングストロームであることを特徴とする座標データ入力装置の入力パネル用透明電極膜。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01B 5/14 A
, C23C 14/34 A
, C23C 14/34 R
