特許
J-GLOBAL ID：200903021130757491
無摺動真空ゲートバルブ及び弁板
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-262110
公開番号（公開出願番号）：特開平10-110834
出願日： 1996年10月02日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：
【要約】【課題】 従来の無摺動真空ゲートバルブは、弁板内を負圧にしたり、弁板内のばねによって弁板を縮小させる構成が採用されていたため、開弁から閉弁させる時に大きい力を発生させる付属の装置を必要とし、開閉動作時間の低下となっていた。【解決手段】 本発明による無摺動真空ゲートバルブは、弁板(4)の各弁板片(11,12)が、弁棒(3)内の作動ロッド(5)に接続されたリンク部(9)によって拡張及び縮小するため、極めて迅速にかつ無摺動で開口(2)の開閉弁を行うことができる構成である。
請求項（抜粋）：
弁棒(3)に接続された弁基体(6)と、前記弁基体(6)の両側に弁板用シールベローズ(13,14)を介して作動自在に設けられた弁板片(11,12)と、前記各弁板片(11,12)を作動させるためのリンク部(9)と、前記弁棒(3)内に同軸配置され前記リンク駆動体(8)に接続された作動ロッド(5)とを備え、前記作動ロッド(5)の直動により前記リンク部(9)を介して前記各弁板片(11,12)間の間隔の拡張及び縮小を行うように構成したことを特徴とする弁板。
IPC (4件)：
F16K 3/10
, F16K 3/02
, F16K 3/06
, F16K 51/02
F16K 3/10
, F16K 3/02 C
, F16K 3/06 B
, F16K 51/02 Z
