研磨装置及び方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：竹内澄夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-030872
公開番号（公開出願番号）：特開2003-231051
出願日： 2002年02月07日
公開日（公表日）： 2003年08月19日
要約：

【要約】【課題】高い研磨力で、研磨対象物の表面全体を均一に研磨できる研磨装置及び方法を提供することである。【解決手段】研磨装置は、定盤11と、研磨テープ20を定盤11の表面上に送り出すテープ送出部14と、定盤11の表面上に送り出された研磨テープ20を巻き取るテープ巻取部15とから構成される研磨ヘッド10を有する。研磨ヘッド10は、手段50により回転Rされる。研磨装置は、研磨対象物Wを保持し、定盤11の表面上に送り出された研磨テープ20の表面に研磨対象物Wの表面を押し付けるための保持具18と、定盤11の表面上の研磨テープ20の表面に研磨液を供給するためのノズル19とを有する。保持具18は、手段60により回転rされる。研磨テープ20の裏面、又は定盤11の表面のうちの一方は平坦であり、他方は弾力性のある凹凸パターンを有する。

請求項（抜粋）：

定盤と、研磨粒子を樹脂バインダーで固定した研磨層をベーステープの表面に形成した研磨テープを前記定盤の表面上に送り出すテープ送出部と、前記定盤の表面上に送り出された前記研磨テープを巻き取るテープ巻取部とから成る研磨ヘッド、研磨対象物を保持し、前記定盤の表面上に送り出された前記研磨テープの前記研磨層の表面に前記研磨対象物の表面を押し付けるための保持具、研磨液を前記定盤の表面上の前記研磨テープの前記研磨層の表面に供給するためのノズル、前記研磨ヘッドを回転させるための手段、及び前記保持具を回転させるための手段、から成る研磨装置。

IPC (6件)：

B24B 21/04 , B24B 21/00 , B24B 37/00 , B24B 57/02 , B24D 11/02 , H01L 21/304 622

FI (6件)：

B24B 21/04 , B24B 21/00 A , B24B 37/00 H , B24B 57/02 , B24D 11/02 , H01L 21/304 622 F

Fターム (21件)：

3C047FF08 , 3C047GG20 , 3C058AA05 , 3C058AA07 , 3C058AA09 , 3C058CB01 , 3C058DA02 , 3C058DA17 , 3C063AA03 , 3C063AB07 , 3C063BB01 , 3C063BB02 , 3C063BB03 , 3C063BC03 , 3C063BG05 , 3C063BG08 , 3C063BG30 , 3C063BH19 , 3C063DD01 , 3C063EE10 , 3C063FF30

引用特許：

審査官引用 (5件)

研磨装置における研磨布自動交換装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-136799 出願人：株式会社東京精密
研磨布
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-243957 出願人：三菱電機株式会社
研磨装置および研磨方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-319181 出願人：住友金属工業株式会社

全件表示

前のページに戻る