特許
J-GLOBAL ID：200903021133735316
検査装置のプローブヘッドの製造方法および検査装置のプローブヘッド
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-007033
公開番号（公開出願番号）：特開平6-213929
出願日： 1993年01月19日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】 プローブ針を微細なピッチで精度良く配列し、かつ検査対象の電極に確実に接触させることができ、信頼性の向上および大幅なコストダウンが可能になるプローブヘッドを実現する。【構成】 予め先端部が曲げ加工された金属板1の基端側に、エッチング加工をしてハウジング固定部を作製し、このハウジング固定部の上にハウジングを形成する。次に、金属板1の先端側をエッチング加工して、1枚の金属板1からその幅方向に複数分断されたプローブ針2を得る。
請求項（抜粋）：
被検査体上の電極に複数のプローブ針を接触させて該被検査体の電気的特性を検査する検査装置のプローブヘッドの製造方法において、少なくとも後に該電極に接触される部分に導電性物質を有する素材をエッチング等の化学的処理又はレーザ加工等の物理的処理によって分断加工し、複数のプローブ針を形成する工程と、該プローブ針の基端側に絶縁性のハウジングを固定する工程とを含む検査装置のプローブヘッドの製造方法。
IPC (3件)：
G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01L 21/66
