特許
J-GLOBAL ID：200903021142001457

ハロシランの製造方法、固形分の精製方法

発明者：
梶本 公彦

梶本 公彦 について

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大場 智之

大場 智之 について

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平川 博之

平川 博之 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について

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チッソ株式会社

チッソ株式会社 について


代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-149471
公開番号（公開出願番号）：特開2005-330149
出願日： 2004年05月19日
公開日（公表日）： 2005年12月02日
要約：
【課題】使用済みのスラリに含まれるシリコンをハロシランとして効率的に回収する方法を提供すること。【解決手段】 本発明のハロシランの製造方法は、(1)砥粒とそれを分散する水溶性の分散媒とからなるスラリにシリコン粒が混入した使用済みスラリ1を、1次遠心分離することにより、砥粒が主成分の固形分3bを回収し、(2)1次遠心分離により得られた液分3aを2次遠心分離することにより、分散媒が主成分の液分5aと、その残りのスラッジ5bとに分離し、(3)2次遠心分離により得られた液分5aを蒸留することにより得られる固形分7bについて粉砕及び有機物残渣の除去を行い、(4)得られた固形分にハロゲン化剤を反応させて得られる生成物を精留する工程を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
(1)砥粒とそれを分散する水溶性の分散媒とからなるスラリにシリコン粒が混入した使用済みスラリを、1次遠心分離することにより、砥粒が主成分の固形分を回収し、 (2)1次遠心分離により得られた液分を2次遠心分離することにより、分散媒が主成分の液分と、その残りのスラッジとに分離し、 (3)2次遠心分離により得られた液分を蒸留することにより得られる固形分について粉砕及び有機物残渣の除去を行い、 (4)得られた固形分にハロゲン化剤を反応させて得られる生成物を精留してハロシランを回収する工程を備えるハロシランの製造方法。
IPC (4件)：
C01B33/107 ,  B01D3/00 ,  C02F11/00 ,  C02F11/12
FI (4件)：
C01B33/107 B ,  B01D3/00 A ,  C02F11/00 C ,  C02F11/12 C
Fターム (36件)：
4D059AA10 ,  4D059AA30 ,  4D059BD19 ,  4D059BE38 ,  4D059BE46 ,  4D059BE49 ,  4D059BK11 ,  4D059BK17 ,  4D059CC07 ,  4D059CC10 ,  4D076AA02 ,  4D076AA16 ,  4D076AA22 ,  4D076BB03 ,  4D076FA02 ,  4D076FA04 ,  4D076FA12 ,  4D076FA20 ,  4D076FA23 ,  4D076FA34 ,  4D076HA03 ,  4D076HA06 ,  4D076HA12 ,  4G072AA12 ,  4G072AA14 ,  4G072GG03 ,  4G072HH01 ,  4G072HH33 ,  4G072HH40 ,  4G072JJ06 ,  4G072MM01 ,  4G072MM08 ,  4G072RR17 ,  4G072UU01 ,  4G072UU02 ,  4G072UU21
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • シリコンの回収方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-096957   出願人：株式会社日平トヤマ
審査官引用 (2件)

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