特許
J-GLOBAL ID：200903021143271210
荷電粒子ビーム装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-162761
公開番号（公開出願番号）：特開平10-012175
出願日： 1996年06月24日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：
【要約】【課題】 操作パネルを簡単化し、更に、ノイズの発生を少なくすることができる荷電粒子ビーム装置を実現する。【解決手段】 例えば、電子ビームの軸合わせを行う場合、モード切換スイッチ44を切り換え、アライメント調整モードに対応した信号が、プライオリティーエンコーダ53により符号化され、並直列変換器54に送られ、更に、直列通信路55を通って直並列変換器56に供給される。マイクロプロセッサ57は、直並列変換器56から送られた符号化された信号を判断し、アライメント調整モードであることを判断する。その後、ロータリーエンコーダ41を回転させると、右回転か左回転かの信号と回転数はプライオリティーエンコーダ53により符号化され、マイクロプロセッサ57に供給される。マイクロプロセッサ57は、供給された信号に基づいて、アライメント値レジスタ35の値を変化させ、所望のアライメント値がアライメントコイル6に供給される。
請求項（抜粋）：
荷電粒子ビームを集束しあるいは偏向するための複数の制御手段と、各制御手段に対応して設けられたレジスタと、レジスタの値をDA変換して信号を供給する信号供給系と、調整モード切換スイッチと、レジスタ設定量可変手段とを備えており、調整モード切換スイッチにより選択された特定の制御手段に対応したレジスタの値をレジスタ設定量可変手段により変えるように構成した荷電粒子ビーム装置。
IPC (4件)：
H01J 37/256
, H01J 37/147
, H01J 37/21
, H01J 37/317
H01J 37/256
, H01J 37/147 B
, H01J 37/147 D
, H01J 37/21 B
, H01J 37/317 A
