特許
J-GLOBAL ID：200903021155816735
ポートドアへのポッドドア保持システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外10名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-560345
公開番号（公開出願番号）：特表2002-520528
出願日： 1999年07月12日
公開日（公表日）： 2002年07月09日
要約：
【要約】ポッド(20)とプロセスツール(28)間での工作物移送中、ポッドドア(22)がポッドから取り外されてプロセスツールに収容される際、ポッドドアを、プロセスツールのポートドア(26)に固着、固定して確実に保持するシステムが開示される。本システムには、ポートドア外面から上に突出するラッチキー(32)が含まれる。ラッチキーは、ポッドドア内のドアラッチアセンブリのスロット(33)に係合する。一旦スロット内に適切に着座されると、ラッチキーは、ポートドア内の機構により回転され、ポッドシェル(24)からポッドドアを切断する。このような回転により、同時にポッドドアがポートドアに結合される。回転中、ラッチキーは、後方に移動し、ポッドドアを引いてポートドアと密着係合させる。
請求項（抜粋）：
ポッドとプロセスツール間での工作物移送中、ポッドドアがポッドから取り外され前記プロセスツールに収容される際、前記ポッドドアをポートドアに密着保持するシステムであって、前記ポートドア内に搭載されるラッチキーを具備してなり、前記ラッチキーには、前記ポートドアに前記ポッドドアを結合させる第1手段と、前記ポートドアに前記ポッドドアを密着保持する第2手段が含まれることを特徴とするポッドドアをポートドアに密着保持するシステム。
引用特許：
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