特許

J-GLOBAL ID：200903021160675210

ICテスタ用冷却装置

発明者： 坂田 宏
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-321552
公開番号（公開出願番号）：特開平8-159515
出願日： 1994年11月30日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、空調室内で稼動させるICテスタの排気熱温気の冷却装置の最適手段を提供することを目的とする。【構成】 上記目的を達成するために、本発明は冷気をICテスタの上部より吸気し、ICテスタ内部で昇温した温気を下部より排気し、その温気排気物をファンと熱交換器と受け皿と制御器とからなる冷却部で冷却するが、その冷却部をグレーチング床下に設置する構成とする。よって設置床面積を最小にし、重心バランスが良く、ICテスタで発生する発熱量を完全に冷却できる構成となった。

請求項（抜粋）：

空調室内に設置するICテスタ(30)からの排気熱冷却装置において、空調室のグレーチング床(21)上に設置され、冷気を吸入する吸気口(11)を上部に、温気を下方に排出する排気口(12)を下部に有する筐体(10)を用いたICテスタ(30)と、上記ICテスタ(30)下の上記グレーチング床(21)下に設置され、ICテスタ(30)からの温気を吸排するファン(14)と上記温気を冷却する熱交換器(15)とから成る冷却部(13)と、を具備することを特徴とするICテスタ用冷却装置。

IPC (7件)：

F24F 3/00 ,  F24F 3/16 ,  F24F 7/06 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28 ,  H05K 7/20 ,  H01L 21/66