特許

J-GLOBAL ID：200903021163546755

ネガ型フォトレジスト用現像液

発明者： 佐藤 孝志
出願人/特許権者： 徳山石油化学株式会社
代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-357157
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194847
出願日： 1992年12月22日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：

【要約】【目的】 感光性ポリヒドロキシエーテル樹脂を主成分とするフォトレジストを現像する現像液であって、1,1,1-トリクロロエタンと同等の性能を有する現像剤を提供する。【構成】 ポリヒドロキシエーテル樹脂とグリシジル(メタ)アクリレートとの反応により得られた感光性ポリヒドロキシエーテル樹脂を主成分とするネガ型フォトレジストを現像するに当り、炭素数6〜12の芳香族化合物もしくは炭素数6〜12の芳香族化合物を50重量%以上含む混合溶剤を現像液とすることを特徴とするネガ型フォトレジスト用現像液により上記の目的を達成できる。

請求項（抜粋）：

ポリヒドロキシエーテル樹脂とグリシジル(メタ)アクリレートとの反応により得られた感光性ポリヒドロキシエーテル樹脂を主成分とするネガ型フォトレジストを現像するに当り、炭素数6〜12の芳香族化合物もしくは炭素数6〜12の芳香族化合物を50重量%以上含む混合溶剤を現像液とすることを特徴とするネガ型フォトレジスト用現像液。