特許
J-GLOBAL ID：200903021167773896
凝集塊ビームの発生方法と装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富村 潔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-179856
公開番号（公開出願番号）：特開平6-184737
出願日： 1993年06月25日
公開日（公表日）： 1994年07月05日
要約：
【要約】【目的】 可能な被覆速度を数桁上昇できかつ基板表面上への凝集塊衝突の期待される有利な作用を実現できるような、凝集塊の強力なビームを発生させる方法及び装置を提供する。【構成】 蒸気をるつぼ9からノズル10を通って膨張させることにより、高沸点物質8の約1000個程度の原子を含む凝集塊のビームを発生させるために、るつぼ9のノズル10が約3°ないし30°の範囲内の開口角を備え数mmないし数十mmの長さの発散形出口部分を有し、約0.2mmないし約1.0mmの範囲の一番狭いノズル内法の場合にノズル前室内の蒸気圧が少なくとも200hPaに調節される。
請求項（抜粋）：
凝集させようとする物質の蒸気を加熱したるつぼから一つ又は複数のノズルを通って膨張させることにより、高沸点物質の約1000個程度の原子を含む凝集塊のビームを発生させる方法において、ノズル又は複数のノズルのうちの少なくとも一つが約3°ないし30°の範囲の開口角を備え数mmないし数十mmの長さの発散形の出口部分を有し、約0.2mmないし約1.0mmの範囲の一番狭いノズル内法の場合にノズル前室内の蒸気圧が少なくとも約200hPaに調節されることを特徴とする凝集塊ビームの発生方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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