特許
J-GLOBAL ID：200903021171562603
ダイシング装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-281217
公開番号（公開出願番号）：特開平5-121541
出願日： 1991年10月28日
公開日（公表日）： 1993年05月18日
要約：
【要約】【目的】 ワークの汚染を防止して生産性の歩留りの向上を図る。【構成】 コンタミ除去部材をブレード16周縁の両側部に近接して複数設け、このコンタミ除去部材で除去された切粉等を切削水でワーク14表面の外側に搬出する。このコンタミ除去部材は、ブレード16のワーク14切断位置からブレード16の回転方向に所定間隔をおいて設けられた第1のコンタミ除去部材20と、切削刃のワーク14切断位置からブレード16の回転方向と反対方向に所定間隔をおいて設けられた第2のコンタミ除去部材22と、から成なり、第1のコンタミ除去部材20で除去されたコンタミ50をブレード16のワーク14切断位置に吹きつけられた切削水でワーク14表面の外側に搬出し、第2のコンタミ除去部材22で除去されたコンタミ50を第2のコンタミ除去部材22の上方から吹きつけられた切削水でワーク14表面の外側に搬出する。
請求項（抜粋）：
回転する切削刃に切削水を吹きつけると共に切削刃でワークを切断して所要の形状に加工するダイシング装置において、前記切削刃周縁の両側部に近接して配設され、前記ワーク切断時に生じた切粉等を切削刃から除去するコンタミネイション除去部材が複数設けられ、前記コンタミネイション除去部材で除去された切粉等を前記切削水で前記ワーク表面上から回避した位置に搬出することを特徴とするダイシング装置。
IPC (2件)：
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