特許
J-GLOBAL ID：200903021173877504
異物検査装置およびその方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石川 泰男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-201248
公開番号（公開出願番号）：特開平6-043108
出願日： 1992年07月28日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：
【要約】【目的】 被検査領域に異物が存在するか否かを容易に判定する。【構成】 被検査領域を撮像装置で撮像し、その被検査領域の明度分布を求める。明度分布の標準の分布S1 から離れた位置に分布(分布要素)S2 ,S3 が存在する場合に、異物が存在すると判定する。
請求項（抜粋）：
被検査領域を撮像する撮像装置と、この撮像装置が撮像した撮像データに基づき前記被検査領域の明度分布を作成する明度分布作成装置と、この明度分布作成装置が作成した明度分布の標準となる分布から離れた位置に存在する分布要素を判別する明度分布要素判別装置と、を備えたことを特徴とする異物検査装置。
引用特許：
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